PECVD 薄膜沉积工艺虚拟仿真实验设计与研究

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摘要虚拟仿真实验教学已成为微电子工艺实训实践能力培养的重要手段，弥补和完善了传统教学方式的缺点和不足。文章介绍了 PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）薄膜沉积工艺在聚光多结光伏电池芯片制备中应用的虚拟仿真实验项目，将实验教学融合在多结光伏电池芯片制备应用场景下，以典型的PECVD 法沉积电池增透膜为例，设计实验项目。（剩余7093字）

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