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0 引言
在材料科学领域,扫描电子显微镜(SEM)常被用于样品微观结构的观察、缺陷的分析以及通过配套的能量色散谱仪(Energy Dispersive Spectro-scopy,EDS)进行元素分析等[],是材料性能表征过程中不可或缺的分析工具。然而,SEM的复杂性和精密性对设备操作人员提出较高的技术要求,不仅需要理解设备的工作原理,还必须熟练掌握样品制备、设备调试、图像获取与结果分析等一系列操作步骤。(剩余4646字)
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