带有反时限保护的PECVD镀膜设备的研究

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中图分类号：TM615.2 文献标志码：A

摘要：管式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备是一种用于太阳电池表面镀膜的设备，在运行过程中可能会出现短路故障或电路过载的情况，针对这一问题，提出一种带有反时限保护功能的控制电路模型。首先，建立双向可控硅控制电路模型，通过双向可控硅控制电路的开通和关断时间，改变导通角的大小，从而调节输出功率；其次，根据可能出现的过流倍数，设计反时限过流保护电路;最后，在Matlab/simulink平台中搭建仿真模型，对电路设计的可行性进行验证，仿真结果显示，该模型可实现反时限过流保护，能解决管式PECVD设备的安全问题。（剩余11825字）