磁控溅射法制备 Al2O3 薄膜及其在柔性不锈钢CIGS太阳电池中的应用

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（河北大学物理科学与技术学院，保定071002）

摘要：本研究采用射频磁控溅射技术在柔性不锈钢基底上沉积 Al2O3 薄膜，作为铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池中抑制元素扩散的阻挡层，研究不同厚度的 Al2O3 薄膜对不锈钢表面粗糙度和CIGS吸收层的结晶质量、晶体结构和光电特性的影响。（剩余15427字）

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