光学精密工程

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基于多测头的反射镜面形检测 摘要：针对光学元件研磨阶段传统单测头检测方法对机床导轨运动误差敏感,难以同时兼顾检测精度与在位测量效率的问题,提出一种适用于普通机床集成条件下的多测头非接触式面形检测方法,以实现光学元件研磨阶段的高精度在位检测。阐述由3个激光位移传感器组成...
高灵敏度空间倾斜测量光纤光栅传感器 摘要：为应对实际工程中结构多向倾斜测量的技术需求，研发了一种高灵敏度空间倾斜测量光纤光栅传感器，开展了系统的理论分析和实验测试。该传感器采用凸台-凹槽组合结构实现悬臂式等强度梁的应变响应增强，通过两个正交布置的增敏型等强度梁同步感知空间二维...
利用机器学习实现 H₂S 和 CO₂ 气体混叠光谱浓度预测 摘要：为解决 H2S 吸收光谱与 CO2 混叠问题，提高烟气 H2S 在线测量准确度，提出一种基于机器学习算法的 H2S 浓度预测方法。将HITRAN数据库生成的直接吸收光谱数据进行解调处理生成580组模拟数据，再与实验获取的二次谐波数据混...

双掩膜硅-玻璃键合不等高工艺实现低电压小尺寸MEMS微镜 摘要：基于绝缘体上硅（SiliconOn Insulator，SOI)工艺的静电驱动微镜普遍存在工艺步骤复杂、制造成本高及设计自由度受限等挑战。为此，提出一种基于硅-玻璃键合(Spin On Glass，SOG)不等高工艺的小型化MEMS静...
基于多原理融合的精密旋转轴系六自由度误差同步测量 摘要：为研究轴系误差变化对含有精密旋转轴系的精密测量仪器或高端制造装备的影响规律，在圆光栅安装偏心自校准原理、自准直原理和激光三角原理的基础上，提出了一种基于多原理融合的精密旋转轴系六自由度误差同步测量方法。首先，通过圆光栅安装偏心自校准原...
双传感器切换的像移补偿控制 摘要：由于多模遥感观测设备在大速高比(高速、低空)工况下因曝光时间较长而导致像移，仅依赖陀螺仪的补偿方法存在指令繁琐、陀螺漂移累积引发视轴偏离等问题。为满足遥感成像对高重叠率与高信噪比的要求，提出一种结合线性跟踪微分器（LinearTrac...
基于GUM-MCM的微纳米坐标测量机圆度测量不确定度评定 摘要：为验证微纳米坐标测量机在圆度测量中的可靠性并精准识别关键不确定度来源，构建了一套综合评定方法，以量化分析测量不确定度及各误差分量对评定结果的影响。首先，依据国家标准GB/T7235-2004中定义的最小二乘法、最大内接圆法、最小外接圆...
外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件 摘要：针对传统绝对式角位移传感器在设计和加工过程中存在绝对编码和超精密光刻加工的问题，提出一种外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感方法。先将定子内外圈布置由外延展螺旋形线圈构成空间正交且对极数互质的两组正弦激励绕组和余弦激励绕组。再采用时分复用...

面向插植手术机器人的单目视觉空间配准 摘要：为了提高插植手术机器人工作空间与手术空间的配准精度，提出一种基于单目视觉的插植手术机器人空间配准方法。通过单目相机的内参标定与手眼标定，建立了相机坐标系与插植手术机器人坐标系之间的手眼空间位姿关系。根据深度学习提出了基于CenterN...
基于光流法的宽波段视频后半帧实时预测 摘要：将后半帧图像作为当前帧图像的输人，用于降低自适应实时控制器计算延迟导致的误差，可有效提高快反镜校正精度，成为当前机载成像系统中的重要应用。本文提出了一种轻量化的基于光流法的视频后半帧实时预测方法。该方法以连续两帧图像为输入，通过光流估...
基于多层感知机神经网络的拼接式望远镜补偿校正 摘要：为了更高效地装调拼接式望远镜,提出一种基于多层感知机(Multilayer Perceptron,MLP)神经网络的拼接式望远镜补偿校正方法。首先，运用矢量像差理论分析了光学系统中元件偏心和倾斜之间的耦合关系，验证了二者可相互补偿的特...
慧眼识“新”开放词汇目标检测 摘要：针对开放场景中模型前景判别能力弱、基类偏差大导致新类检测精度较低的问题,提出一种慧眼识“新"开放词汇目标检测方法。首先，设计前景特征判别模块，利用前景估计器对潜在新类区域建模并生成高质量伪标签，实现前景与背景的精准区分，以增...
基于TIP-YOLO的移液器吸头微小缺陷检测 摘要：精密自动移液技术已成为现代实验室自动化系统的核心组成部分。移液器吸头存在质量缺陷会直接影响液体吸取和排放的体积精度，进而导致移液容量偏差，准确性降低等问题。此外，移液器吸头为半透明聚丙烯材质，其缺陷不仅尺寸微小、分布随机，还呈现浅层化...

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