双掩膜硅-玻璃键合不等高工艺实现低电压小尺寸MEMS微镜

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中图分类号：TH703；TN304 文献标识码：A

doi：10.37188/OPE.20263405.0734 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0734

1引言

随着现代光通信的发展，光通信行业需要更小尺寸、更低功耗和更快响应时间的器件，微机电系 统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）微镜有体积小、功耗低及响应快等优点，正逐步取代传统机械式微镜，在快速反射镜、可变光衰减器及光开关等光通信系统中展现出广泛的应用前景[1-2]。（剩余9414字）