基于多原理融合的精密旋转轴系六自由度误差同步测量

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中图分类号：TH712文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20263405.0743 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0743

1引言

随着精密仪器和高端制造业的发展，对含有精密旋转轴系的精密测量仪器或高端制造装备精度提出了更高的要求。精密旋转轴系作为精密测量仪器或高端制造装备的核心部件，如高端机床[1]、多轴精密转台、齿轮测量中心[2]、机器人[3]、激光跟踪仪4]、关节臂式坐标测量机[5]及室内GPS[等，由于受自身零部件加工、装配等误差因素的影响，易存在角度定位误差、径向、轴向和倾斜误差。（剩余14927字）