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中图分类号：TP212 文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20263405.0784 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0784
1引言
精密角位移测量技术及器件作为高端数控机床、计量检测仪器及国防武器装备的关键技术与核心部件，其精度、分辨力、稳定性和抗干扰能力等直接影响着系统的性能，是我国一项“卡脖子"关键难题[1-3]。（剩余10981字）
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外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件
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