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中图分类号：TH161.11 文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20263405.0769 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0769
1引言
随着微纳米级超精密加工技术的快速发展，先进制造对微观尺度下几何参量的精确计量提出了更为苛刻的要求。微纳米坐标测量机作为在三维空间内实现微纳米级精度测量的关键仪器，其测量结果的可靠性与不确定度水平直接决定了高端装备制造的精度。（剩余18602字）
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基于GUM-MCM的微纳米坐标测量机圆度测量不确定度评定
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