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半导体新刃

中国原子能科学研究院自主研制的首台串列型高能氢离子注入机成功出束，核心指标达国际先进水平。该突破标志着我国全面掌握该设备全链路研发技术，攻克功率半导体制造关键环节。离子注入机是半导体核心设备，我国长期依赖进口。该院依托核物理加速器技术积累，破解难题，实现正向设计，打破国外垄断，推动高端制造装备自主可控，保障产业链安全。（剩余748字）

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