光学精密工程

2025年17期

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极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展 摘要：极紫外光刻作为半导体制造领域的核心技术，对光学元件表面质量提出了原子级精度的严苛要求，并要求光学元件近乎为零的表面/亚表面损伤。本文聚焦光学元件超精密制造，介绍了光学元件材料特性与制造工艺引起的表面误差形成机理，剖析了不同空间尺度误差...
大跨度高精度光斑质心提取 摘要：针对合作靶标特征点成像在大跨度动态测量中的特征提取精度下降、实时性不足问题，提出了一种融合帧间运动预测与改进亚像素边缘检测的自适应光斑质心提取方法。基于合作靶标测量运动连贯性特性，构建了动态感兴趣区域(Region of Intere...
长角融合空间坐标测量系统误差建模和标定 摘要：面向航空、航天等高端装备制造和大型射电望远镜等大科学装置建造、运行过程中多目标、自主并行测量需求，针对前期研究所提出的长角融合空间坐标测量系统，完善了几何结构误差模型，提出了一种基于自适应加权优化算法的高精度控制场标定方法，实现了长角...
反射/折反射式变焦光学系统综述 摘要：变焦光学系统通过对光学元件的主动可控调节，可以在单一光学系统内实现多个焦距数值，具有光学成像模式灵活的特点。反射/折反射变焦光学系统具有可实现大口径、长焦距的优势,在高分辨率成像场景中具有重要的应用潜力。本文系统地梳理了反射/折反射式...
沙氏激光雷达植物叶绿素荧光探测与验证 摘要：植物叶绿素含量的精准监测对农业生产和生理研究至关重要，但传统方法存在需要近距离接触测量，效率较低等局限,且难以同时获取植物的三维结构特征。为解决这一问题,基于Scheimpflug 原理开发了一种新型激光雷达系统(SLiDAR),旨在...
面向无人机目标探测的分时型红外偏振成像系统 摘要：针对分时型红外偏振成像系统在快速成像过程中的偏振响应稳定性问题，设计了一种长波红外偏振成像系统，用于无人机目标在红外强杂波背景下的目标探测。对偏振步进角度进行最优分析，通过角度误差模型仿真确定系统的最优步进角参数，从而减少偏振误差;设...

超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化 摘要：为实现硫化锌光学元件高质量抛光，开展了机器人超声辅助抛光的理论建模与实验研究，构建了适用于硫化锌材料的高精高效超声辅助抛光理论与工艺体系。首先，建立机器人超声辅助抛光过程中磨粒-工件接触模型，通过运动学分析超声振动作用下磨粒的三维轨迹...
工业CT系统中双向温控原位加载装置与复合材料热-力耦合行为分析 摘要：传统工业CT原位加载装置在高温/低温工况下均存在温控不稳定、控制响应迟滞以及热梯度伪影等问题，以导致复合材料热-力耦合行为观测失真。基于现有原位拉伸试验平台基础上，设计了一台适用于工业CT系统的双向温控原位加载装置。该装置通过优化夹具...

HADN-Net:面向暗弱天体目标检测的层次化注意力密集嵌套网络 摘要：针对暗弱天体目标具有像素占比小、与背景对比度低、内部信息稀缺等特点，提出面向暗弱天体目标检测的一种层次化注意力密集嵌套网络HADN-Net,，首先提出了多分支Ghost-空洞注意力模块Mul-GDAM,采用多感受野特征提取策略增强目标...
基于自适应窗长STFT的空间目标振动特性反演 摘要：针对传统的短时傅里叶变换(Short-TimeFourierTransform,STFT)处理窗长固定，导致时频分辨率不足，在目标分类、识别中应用效果受限的问题，提出一种基于自适应窗长STFT算法的特征频率反演方法,以最小信息熵、峰值...

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