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关键词：机器人抛光；超声辅助抛光；硫化锌；去除函数；表面质量中图分类号：TP242；O426.9文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20253317.2754 CSTR：32169.14.OPE.20253317.2754
Material removal mechanism and p（剩余15343字）
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超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化
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