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0引言
传感器是一种能够将压力、加速度等物理量(即被测量)转换为输出信号(通常为电信号)并作为控制系统输入的装置[1。早期汽车所使用的传感器主要是用于监测油压、油位和冷却液温度等参数的独立元件。20世纪70年代末以来,微处理器性能的提升催生出了更复杂的新型传感器,如进气歧管绝对压力传感器(MAP)、燃油蒸发传感器、轮胎压力检测传感器(TPMS)[2]。(剩余7510字)
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车规级MEMS压力传感器设计
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