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中图分类号：TH161文献标志码：ADOI： 10.7652/xjtuxb202604021 文章编号： 0253-987X（2026）04-0250-11
在精密运动控制领域，尤其是半导体封装和测试装备中，速度和精度是衡量设备性能的关键指标[1]。然而，设备的进给系统在高速高加速点对点运动后会产生残余振动，延长作业端部定位时间，降低设备作业效率[2]。（剩余16213字）
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考虑时频特性的点对点高速低振动运动规划方法研究
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