V掺杂对类金刚石薄膜性能的影响

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摘要：通过磁控溅射的方法，使用石墨靶、V靶复合拼接靶，以氩气作为辅助气体，成功制备了不同原子分数的V掺杂类金刚石薄膜。采用拉曼光谱仪、电子探针X射线显微分析仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、纳米压痕仪、薄膜应力仪、往复摩擦磨损试验机等设备研究了V掺杂对类金刚石薄膜微观结构、力学性能、摩擦学性能的影响。（剩余9841字）

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