微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿

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摘要：微纳米精度下的位移测量在机械精密加工、半导体制造和工业自动化控制等领域具有至关重要的作用。光栅位移传感器相较于电位器式和激光干涉式等方法，具有结构简单、分辨率高和抗电磁干扰能力强等优势，已成为精密位移测量领域的重要方法。然而，目前成熟的光栅位移传感器大多由测尺和读数头共同组成，拥有较大的体积、较小的量程（低“量程-长度”比，Range-Length Ratio，RLR），如基恩士的GT2-S1的RLR仅为0.O33，无法满足在受限空间场景下的应用。（剩余14916字）

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