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摘 要:该工程项目为微波、毫米波多芯片组件研制车间工程。为满足组件的高性能、高可靠性等技术要求,组件的装配环境是必须前提,必须建造万级超净车间。项目针对现有建筑的特点进行改造,运用温湿度独立控制系统(THIC)技术、下更换式风机过滤单元(FFU)安装技术、洁净实验室全自动化控制系统等技术,设计并建成1 000 m2超净智能车间。(剩余6614字)
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微波组件用万级超净车间空调工程设计
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