激光清洗技术在芯片封装模具中的应用

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1引言

当今集成电路产业发展迅猛，未来国产芯片替代进口芯片已成定局，相关产业应用亟待发展。晶圆清洗、半导体基片清洗、模具清洗以及电子线路清洗贯穿整个产业[1-5]，是影响芯片质量和性能的关键工艺，拥有400亿以上的市场空间，对芯片生产的良品率和厂商经济效益都有着至关重要的影响。

芯片产业链大致可以分成设计、制造和封装测试等三部分。（剩余8520字）

试读结束

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