不同掺量YF3氟化物助剂对Si3N4显微结构及热导率的影响

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摘 要：通过加入不同含量的YF3氟化物助剂，在1 900 ℃/1 MPa N2压力下保温4 h，以研究YF3含量差异对于Si3N4显微结构及热导率的影响。结果表明，少掺量的YF3助剂对Si3N4的致密过程基本没有影响，但能较明显促进晶粒的生长从而提高热导率;当加入大掺量YF3时，致密过程因为气体物质的生成及助剂本身的挥发而受到一定抑制，由此引发较多的气孔，但因为大掺量YF3组的晶粒尺寸更大，样品最终的热导率也更大，最高达到了81.88 W/（m-1·K-1）。（剩余3437字）

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